Temiz Oda

ISO5, ISO6 ve ISO7

Hava kalitesinin mükemmel bir şekilde kontrol edildiği; sıcaklığının, nemliliğin, basıncın ayarlandığı (pozitif basınç) ve partikül veya mikroorganizma kontaminasyonunun kontrol edilebildiği hacimdir. Temiz odalar genel olarak mikro elektromekanik sistemler üretimi ve testi, yarıiletken aygıt üretimi, biyomedikal sensörler ve aygıtlar, biyoteknolojik çalışmaları, temel bilimler ve uygulamaları, farmakoloji çalışmaları ve kontrollü ortam gerektiren çalışmaların gerçekleştirilmesini mümkün kılar.

Kurumumuzda temiz oda içerisinde hali hazırda kurulan sistemler ile foto-litografi gerçekleştirilebilmektedir. Bu sayede bir çok nanoboyutta üretilebilecek biyo-sensörler, solar-hücreler, ışık yakan diyotlar (LED) gibi aygıtlarının üretilebileceği potansiyele sahiptir.

 

Toplam 160 m2’den oluşan kurulu alanı ile, ISO 14644 Standardı Micro Elektronik esaslarına uygun olarak validasyonu alınmış ISO5, ISO6 ve ISO7 sınıfı temiz odalar mevcuttur.

MULTİDİSİPLİNER ARAŞTIRMA

  • Maske Hizalayıcı
  • Spin Kaplama
  • Optik Mikroskop
  • Profilometre
  • Saçtırma ve Isıl Kaplama Ünitesi
  • Hızlı Isıl İşlem sistemi
  • Tel Bağlama
  • Kriyojenik Akım Voltaj Ölçüm İstasyonu
  • Hasas Dilimleme Cihazı (Dicer)