Saçtırma (Sputter)

media

Reaktif Saçtırma Metodu vakum altında yüksek kalitelere sahip olan ince filmlerin elde edilmesinde kullanılan önemli bir metottur. Katot saçtırma işleminde hedefin yüksek enerjili Ar iyonlarıyla bombardıman edilmesi ile yüzeyden atom sökülmesi ile ince filmler elde edilmektedir. “Reaktif saçtırma” ile Metal, Metal Oksit, Metal Nitrür ince filmleri elde edilebilmektedir.

Cihaz Özellikleri
DAYTAM © 2015 TÜM HAKKI SAKLIDIR. ATABAUM TARAFINDAN GELİŞTİRİLMİŞTİR.