Loading...

Kla Tencor Stylus Profiler P7

Dokunarak Taramalı Profilometre cihazı, malzemelerin yüzey pürüzlülüğünü, kalınlığını, basamak yüksekliği ve yüzey profilini, yüzeye dokunarak tarama metodu ile ölçebilen çok amaçlı bir cihazdır.

Genel Bilgi

Dokunarak Taramalı Profilometre cihazı, malzemelerin yüzey pürüzlülüğünü, kalınlığını, basamak yüksekliği ve yüzey profilini, yüzeye dokunarak tarama metodu ile ölçebilen çok amaçlı bir cihazdır. Yüzeyde seçilen çalışma alanında ileri geri hareket ederek, yüzey pürüzlülüğünü angstrom mertebesi hassasiyetle ölçülebilmektedir.

Cihazla uyumlu kullanılan yazılım sayesinde, çalışılan malzemenin yüzey profil parametrelerini grafik şeklinde veya 3 boyutlu topografyasını çıkarıp, z eksenine bağlı olarak yüzey pürüzlülüğü ve kalınlığı belirlenebilir.

Profilometre cihazı ile tüm yüzey profili parametreleri ve stres ölçüm parametreleri belirlenebilmektedir. Sonuçlar 2 boyutlu ve 3 boyutlu olarak alınabilmektedir.

360° Hareket

Cihazın örnek tablası boyutu 150mm (6inç) ‘dir. 150 mm çaplı ve 50 mm kalınlığına kadar olan örnekler incelenebilmektedir ve örnek tablası kendi ekseni etrafında 360 derece dönme ve X-Y ekseni boyunca hareketi, programlanabilmektedir. Ayrıca; cihazın örnek tablası, dikey eksende 1 mm’ye kadar, yatay eksende de minimum 55 mm tarama uzunluğuna sahiptir.

2μm/12,5μm Uçlar

Cihazda, 2 μm ve 12,5μm kalınlığında uçlara sahiptir. Sivri Ucun örnek üzerine uyguladığı kuvvet, 1mg – 15mg arasında ayarlanabilmektedir.

1°A Dikey Çözünürlük

Z ekseninde basamak kalınlığı ölçüm tekrarlanabilirliği 0,5nm ve dikey eksende çözünürlüğü 1°A’dur.

3D Haritalama

Tek bir taramada en az 120.000 noktadan data alabilmektedir. 3D haritalama ve 2D stres, çekme ve gerilme stresleri ölçülüp aynı anda hesaplanabilmektedir.

640x480 Renkli CCD

Görüntüleme sistemi 640x480pixel çözünürlüğe sahip, entegre renkli CCD kamera ile yapılmaktadır.

Teknik Özellikler

Total Dynamic Range
Standard: 327 μm
Low Force: 131 μm
Extended: 1000 μm

Vertical Resolution (low/mid/high)
Standard: 0.01 / 0.04 / 0.20 Å
Low Force: 0.01 / 0.02 / 0.10 Å
Extended: 0.01 / 0.08 / 0.60 Å

Maximum Scan Length
Any rectangle inscribed within a 150 mm diameter circle

Lateral Resolution
0.5 μm

Maximum Points per Scan
4 million

Scanning Speed

Maximum Scan Length
150 mm – no stitching required

Lateral Resolution
0.025 μm

Maximum Points per Scan
2 million

Scanning Speed
2 μm/sec to 25 mm/sec

Repeatability:

Steps ≤ 1 μm
4 Å

Steps > 1 μm
0.10%

Reproducibility:

Steps ≤ 1 μm
15 Å

Steps > 1 μm
0.25%

5 to 2000 Hz

Tanıtım Katalogu

Üretici firma tarafından sağlanan cihaz broşürünü buraya tıklayarak indirebilirsiniz.