Loading...

Süss Microtec MBJ4

Litografide maske hizalayıcı olarak ve örnek üzerindeki foto-direnç materyalini UV ışığa istenilen süre kadar maruz bırakmak amacıyla kullanılır. Litoğrafi işleminin yapılabilmesi için temel elemandır.

Genel Bilgi

Litografide maske hizalayıcı olarak ve örnek üzerindeki foto-direnç materyalini UV ışığa istenilen süre kadar maruz bırakmak amacıyla kullanılır. Litoğrafi işleminin yapılabilmesi için temel elemandır.

Litoğrafi işlemleri ile nano boyutlarda sensörler, yarı iletken tabanlı elektronik aygıtlar üretilebilmektedir.

3 Mod İşlem

Kontak, Hard(1 μm), Soft(2 μm), Vakum(0.8 μm) modlarına sahiptir ve titreşim yalıtımı masası mevcuttur.

1 Mikron Çözünürlük

1.0 mikron veya daha küçük çözünürlük ile litoğrafi gerçekleştirilebilmektedir ve sistemde 5×5” ve 2×2” maskeler için maske tutacakları mevcuttur.

Numune Tutucu

4” ve 2” çapındaki örnekler için vakum altında örnek tutucu bulunmaktadır

150mm Yuvarlak - 100mm Kare Alttaş

Cihaz 150 mm yuvarlak ya da 100 mm kare alttaşların kullanımına uygundur.

Wet Bench

Optik Sistemi Mikro Optik (MO) Pozlama Optiği özelliğine sahiptir ve 0.8 μm Sistem 6 inçlik Wet Bench içine monte edilmiştir.

Teknik Özellikler

  • UV 400: 350 – 450 nm (g, h, i-line)
  • UV 300: 280 – 350 nm
  • UV 250: 240 – 260 nm
  • UV 250 / 300 / 400: 240 – 450 nm

MA Movement Range
X: ± 5mm
Y: ± 5mm
Theta: ± 5°

Mechanical Resolution
X, Y: 0.1μm
Theta: 4 x 10-5°

Wafer Size
1 up to 100 mm / 4″ (round)

Max. Substrate Size
100 x 100 mm

Min. Pieces
5 x 5 mm

Wafer Thickness
Up to 4 mm

Mask Size Standard
2″ x 2″ up to 5″ x 5″ (SEMI)

Mask Thickness
Up to 4.8 mm / 190 mil

Movement Range
X: ± 40mm
Y: + 30 – 50mm
Theta: ± 4°

Top Side Alignment (TSA) Accuracy
< 0.5 μm (with SUSS recommended wafer targets)

Transmitted Infrared Alignment (IR) Accuracy
< 5 μm (2 μm under special process conditions)

Alignment Gap
10 – 50μm

Vacuum
< – 0.8bar < 200hPa abs

Compressed Air
5.5 bar (81 psi)

Nitrogen
> 1.5 bar (22 psi)

Tanıtım Katalogu

Üretici firma tarafından sağlanan cihaz broşürünü buraya tıklayarak indirebilirsiniz.