Loading...

VAKSIS PVD Handy

Dört adet, ısıl kaynağı ile ardışık ve iki potadan eş buharlaştırma yaparak, Au, Cr, Ag, Ni, Al, Si gibi metalleri, Ge, Si gibi yarı metalleri SiO2, WO3, MgF2 gibi dielektrik malzemeleri ve PTCDA, pentacene gibi organik malzemeleri buharlaştırarak katmanlı metalizasyon yapabilmektedir.

Genel Bilgi

Dört adet, ısıl kaynağı ile ardışık ve iki potadan eş buharlaştırma yaparak, Au, Cr, Ag, Ni, Al, Si gibi metalleri, Ge, Si gibi yarı metalleri SiO2, WO3, MgF2 gibi dielektrik malzemeleri ve PTCDA, pentacene gibi organik malzemeleri buharlaştırarak katmanlı metalizasyon yapabilmektedir.

Döner/ısınır örnek tutucu ile üstün kalitede ve eş-kalınlıklı örnekler hazırlar. Aşağıdan yukarı buharlaştırma yapar ve taban vakum değeri 1×10-7 Torr seviyesindedir.

Tüm fonksiyonlar dokunmatik ekran üzerinden kontrol edilir ve çalışır. ”Ramp-up”,“coat” ve “ramp-down” ayarları ile her katman tam otomatik olarak kaplanır.

LN2 “Cold Finger”

Sistem tam yüklü iken 1×10-7 Torr “taban basıç” seviyesi, 30 dakikada 5×10-6 Torr vakum seviyesine düşebilmektedir ve LN2 “cold finger” bulunmaktadır.

3-30RPM

100mm-çaplı dairesel örnek alanına ve 3-30 dönüş/dakika örnek döndürme hızına sahiptir.

3000Watt

350°C örnek alttaş, döndürme ve PID ısıtma birimi, ±1°C sıcaklık kontrolü ve 2 adet 10VACx300A,3000Watt AC, dört kanal, ardışık-eş buharlaştırma güç kaynağı vardır.

QCM Kalınlık Algılama

İki kanallı, kalınlık ölçme ve kontrol birimi, iki ortak QCM kalınlık algılama duyargası mevcuttur.

Organik Malzeme Buharlaştırma

2×2 eş-buharlaştırma olanağı, (coevaporation from two sources) vardır. Ayrıca; ısıl kaynaklar seramik potalar kullanılarak, organik malzeme de buharlaştırabilir.

Teknik Özellikler

1×10-7Torr

100mm Çaplı (dairesel)

350°C (±1°C adımlama)

10VAC x 300A (2 Adet / Dört Kanal)

2×2 co-evaporation

Tanıtım Katalogu

Üretici firma tarafından sağlanan cihaz broşürünü buraya tıklayarak indirebilirsiniz.