Dokunarak Taramalı Profilometre

Kla Tencor Stylus Profiler P7

Dokunarak Taramalı Profilometre cihazı, malzemelerin yüzey pürüzlülüğünü, kalınlığını, basamak yüksekliği ve yüzey profilini, yüzeye dokunarak tarama metodu ile ölçebilen çok amaçlı bir cihazdır.

Genel Bilgiler

Dokunarak Taramalı Profilometre cihazı, malzemelerin yüzey pürüzlülüğünü, kalınlığını, basamak yüksekliği ve yüzey profilini, yüzeye dokunarak tarama metodu ile ölçebilen çok amaçlı bir cihazdır. Yüzeyde seçilen çalışma alanında ileri geri hareket ederek, yüzey pürüzlülüğünü angstrom mertebesi hassasiyetle ölçülebilmektedir.

Cihazla uyumlu kullanılan yazılım sayesinde, çalışılan malzemenin yüzey profil parametrelerini grafik şeklinde veya 3 boyutlu topografyasını çıkarıp, z eksenine bağlı olarak yüzey pürüzlülüğü ve kalınlığı belirlenebilir.

Profilometre cihazı ile tüm yüzey profili parametreleri ve stres ölçüm parametreleri belirlenebilmektedir. Sonuçlar 2 boyutlu ve 3 boyutlu olarak alınabilmektedir.

360° Hareket

Cihazın örnek tablası boyutu 150mm (6inç) ‘dir. 150 mm çaplı ve 50 mm kalınlığına kadar olan örnekler incelenebilmektedir ve örnek tablası kendi ekseni etrafında 360 derece dönme ve X-Y ekseni boyunca hareketi, programlanabilmektedir. Ayrıca; cihazın örnek tablası, dikey eksende 1 mm’ye kadar, yatay eksende de minimum 55 mm tarama uzunluğuna sahiptir.

2μm/12,5μm Uçlar

Cihazda, 2 μm ve 12,5μm kalınlığında uçlara sahiptir. Sivri Ucun örnek üzerine uyguladığı kuvvet, 1mg – 15mg arasında ayarlanabilmektedir.

1°A Dikey Çözünürlük

Z ekseninde basamak kalınlığı ölçüm tekrarlanabilirliği 0,5nm ve dikey eksende çözünürlüğü 1°A’dur.

3D Haritalama

Tek bir taramada en az 120.000 noktadan data alabilmektedir. 3D haritalama ve 2D stres, çekme ve gerilme stresleri ölçülüp aynı anda hesaplanabilmektedir.