Dört adet, ısıl kaynağı ile ardışık ve iki potadan eş buharlaştırma yaparak, Au, Cr, Ag, Ni, Al, Si gibi metalleri, Ge, Si gibi yarı metalleri SiO2, WO3, MgF2 gibi dielektrik malzemeleri ve PTCDA, pentacene gibi organik malzemeleri buharlaştırarak katmanlı metalizasyon yapabilmektedir.
Dört adet, ısıl kaynağı ile ardışık ve iki potadan eş buharlaştırma yaparak, Au, Cr, Ag, Ni, Al, Si gibi metalleri, Ge, Si gibi yarı metalleri SiO2, WO3, MgF2 gibi dielektrik malzemeleri ve PTCDA, pentacene gibi organik malzemeleri buharlaştırarak katmanlı metalizasyon yapabilmektedir.
Döner/ısınır örnek tutucu ile üstün kalitede ve eş-kalınlıklı örnekler hazırlar. Aşağıdan yukarı buharlaştırma yapar ve taban vakum değeri 1×10-7 Torr seviyesindedir.
Tüm fonksiyonlar dokunmatik ekran üzerinden kontrol edilir ve çalışır. ”Ramp-up”,“coat” ve “ramp-down” ayarları ile her katman tam otomatik olarak kaplanır.
Sistem tam yüklü iken 1×10-7 Torr “taban basıç” seviyesi, 30 dakikada 5×10-6 Torr vakum seviyesine düşebilmektedir ve LN2 “cold finger” bulunmaktadır.
100mm-çaplı dairesel örnek alanına ve 3-30 dönüş/dakika örnek döndürme hızına sahiptir.
350°C örnek alttaş, döndürme ve PID ısıtma birimi, ±1°C sıcaklık kontrolü ve 2 adet 10VACx300A,3000Watt AC, dört kanal, ardışık-eş buharlaştırma güç kaynağı vardır.
İki kanallı, kalınlık ölçme ve kontrol birimi, iki ortak QCM kalınlık algılama duyargası mevcuttur.
2×2 eş-buharlaştırma olanağı, (coevaporation from two sources) vardır. Ayrıca; ısıl kaynaklar seramik potalar kullanılarak, organik malzeme de buharlaştırabilir.
1×10-7Torr
100mm Çaplı (dairesel)
3-30RPM
350°C (±1°C adımlama)
10VAC x 300A (2 Adet/Dört Kanal)
2×2 co-evaporation
