XPS ölçümleri ile malzeme yüzeyi X-ışınlarına maruz bırakılarak, yüzeydeki atomlardan elektronların sökülmesi ile fotoelektronları oluşturulur. Oluşan fotoelektronlar elektron analizöründe ölçülerek elektron bağlanma enerjileri belirlenir.
XPS sistemi; metallerin oksidasyon seviyelerinin belirlenmesi, polimerlerin organik, inorganik, malzemelerin fiziksel ve kimyasal özelliklerini, ince filmlerin nitelik ve nicelik bakımından tayini gerçekleştirilebilmektedir.
Ayrıca metaller ve alaşımların yüzeylerinin mikroanalizi, mineral yüzey çalışmaları, polimer çalışmaları, tıbbi malzemelerinin analizi, yüzey araştırmaları, temel atomik fizik ve kimya çalışmaları gerçekleştirilebilmektedir.
XPS sistemi, küçük alan XPS çizgi-taraması, XPS kimyasal haritalama, kimyasal durum bilgisi, iletkenlerde ve yalıtkanlarda malzeme derinliği boyunca elementel analiz yapabilmektedir.
Tekli toroidal quartz kristal dizaynına sahip Al kaplanmış anot ve Ag anot bulunmaktadır. Ayrıca; kimyasal haritalama için 2 boyutlu CCD dedektörü mevcuttur ve geçiş enerji (pass energy) değeri en az 1 eV’tan başlayıp 400eV’a veya daha yüksek değerlere kadar sürekli olarak seçilebilmektedir.
Açı çözünürlüklü XPS yapılabilmektedir. (±0.1° hassasiyetle ±180° polar dönme hareketli tabla sayesinde) Çapı 150 mm ve 180° geometriye sahip olan yarı-küresel elektron analizörü bulunmaktadır.
Yüksek hassasiyette UPS (Morötesi fotoelektron spektroskopisi) ölçüm özelliği bulunmaktadır. Yüksek hassasiyetli XPS analizi için 200 kanallı multi-kanal dedektörü olan elektron lens analizörü bulunmaktadır.
İyon tabancasının spot genişliği 200 μm’dir. 200 eV – 4 keV enerji aralığında çalışmakta ve 200 eV’da, 1 μA iyon emisyonu oluşturabilir.
Yüksek hassasiyette 4 eksenli numune manipülatörü, otomatik hareketli numune tablasına sahiptir.
Çeşitli boyutlardaki malzemelerin analizine imkan sağlayan tek parça veya parçalı numune tutuculara sahiptir. Örnek tutucu 80 K’e kadar soğutulabilir ve 1100K’e kadar ısıtılabilmektedir.
200 eV – 4 keV
200 μm
80K – 1100K
±0.1°
±180° Polar
2 boyutlu
1eV – 400eV
