Lake Shore PS-100
Kriyojenik Prob İstasyonu Sistemi ile düşük vakum ortamında ölçüm ucu istasyonun hem altlığı hem de kalkanı istenilen sıcaklığa ayarlanarak akım-voltaj ve kapasitans-voltaj gibi elektriksel ölçümler yapılabilmektedir.
Genel Bilgiler
Kriyojenik Prob İstasyonu Sistemi ile düşük vakum ortamında ölçüm ucu istasyonun hem altlığı hem de kalkanı istenilen sıcaklığa ayarlanarak akım-voltaj ve kapasitans-voltaj gibi elektriksel ölçümler yapılabilmektedir.
Bu I-V ve C-V karakteristiği kullanılarak bir çok yarıiletken tabanlı aygıt için önemli parametreler elde edilebilir.
Güçlü Vakum
Turbo Vakum Pompası ile 1×10-5Torr vakum seviyesine ulaşabilir ve sıvı azot/helyum kullanılarak sıcaklık 4.4K – 77K – 475K ayarlanabilmektedir.
Çoklu Ölçüm Ucu
Ölçüm ucu istasyonu 4 ölçüm ucu koluna sahiptir. Ayrıca; sıcaklığa duyarlı ölçüm uçlarına (3μm, 25μm) sahiptir.
Yüksek Çözünürlük
3μm boyutlu numunerin elektriksel ölçümü mümkündür ve 7:1 büyütme optikli yüksek hassasiyette CCD kameraya sahiptir.
Teknik Özellikler
Çalışma Alanı
Samples up to 32 mm (1.25 in) diameter
Ölçülebilir Noktalar
Four-arm triaxial TTPX configuration for four-point probing
Gürültü Filtreleme
Minimizes electrical noise and thermal radiation losses
Mikroskop
Z70 microcope vision system with ring and coaxial light
Sıcaklık Kontrolü
Lake Shore Model 336 temperature controller
Soğutma
Transfer line for use with nitrogen or helium
